-
1 VLE-Verfahren
сокр.микроэл. газофазная эпитаксия с применением воздушной подушки (в качестве опоры для полупроводниковых пластин), парофазная эпитаксия с применением воздушной подушки (в качестве опоры для полупроводниковых пластин)
1 VLE-Verfahren